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北方华创14纳米实现与国外设备同步验证

    笔者从5月23日在北京举行的02重大专项成果发布会上了解到,作为02专项的重点承担单位,北方华创通过近九年的科技攻关,完成了刻蚀机、磁控溅射、氧化炉、低压化学气相沉积、清洗机、原子层沉积等集成电路设备90/55/40/28纳米工艺验证,实现产业化。


  据悉,公司的刻蚀机等三大类集成电路设备进入14纳米工艺验证阶段,首次实现与国外设备同步验证。在02专项支持下,12英寸集成电路设备实现从无到有,批量销售,成为公司的主要收入来源之一。并通过02专项成果扩展应用,公司成为LED、光伏等泛半导体设备国际主流供应商,近几年的销售收入平均增速达到40%。


  北方华创是承担02专项装备项目最多的单位,同时也是零部件的最大用户。因此,公司与上下游交流的机会很多,不但增进了相互信任,也带来了商机。


  中芯国际作为北方华创的验证单位,承担了公司大部分专项的验证工作,双方建立了紧密的合作关系。中芯国际在开发28纳米工艺初期,根据自身工艺的特点,需要一种单片快速退火设备,国外还没有完全符合要求的成熟产品,基于双方的了解,主动提出由北方华创来开发此设备。双方进行了深入的交流,在不到一年的时间里,成功完成设备开发及工艺验证,相关指标达到国际先进水平,成为中芯国际28纳米生产线基线配置产品,实现批量销售。


  此外,通过与本土零部件企业合作,大幅提升了设备的性价比,在LED、光伏等领域全面替代进口产品,不仅增加了客户效益,更为公司带来数十亿的销售收入,成为海内外主流产品,刻蚀机、溅射设备、扩散设备多种产品市场占有率第一,批量出口美国、印度和台湾地区。


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