生产厂家：日本Hitachi主要配置：电子束减速装置性能指标：1、二次电子图像分辨率 ≤1.0nm保证(加速电压15kV WD = 4mm)≤2.0nm 保证(加速电压1kV WD = 1.5mm，普通模式)≤1.4nm 保证(照射电压1kV，WD = 1.5mm，使用减速装置)放大倍率：20~800,000×2、样品台 S-4800型X 0-50 mmY 0-50 mmZ 1.5-30 mmT -5°~ 70°R 360°最大样品尺寸（直径） 100mm 样品台控制 五轴马达驱动主要用途：该设备主要用于各种样品的高分辨表面形貌成像观察，点分辨率可达1 nm。同时该设备由于发射束流低并配备了减速装置，因此可以较大程度上减少样品在电子束轰击下的充电效应，适合于一些不导电样品和在电子束辐照下异损坏样品（有机、高分子、生物样品等）的表面高分辨成像。 联系人：黄凯： 0512-62872632， khuang2006@sinano.ac.cn曾雄辉：0512-62872545, xhzeng2007@sinano.ac.cn