分光光度计（LAMBDA 750）
用于测量样品的反射与透射光谱
技术指标: 波长范围：190－3300nm
带宽：0.17-5 nm
杂散光：≤0.0001%T
波长精度： 0.1nm
波长重复性：<0.06nm
光度计精度: 0.003A
光度计重复性: <0.001A
基线漂移：<0.0002A/h
基线平直：0.0008A
噪声：<0.00005A
应用领域: 用于测量样品的反射与透射光谱。
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LED光电测试系统
用于测量LED光谱功率分布、空间光强分布、电性能测试分析
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离子束刻蚀机 IBE
把Ar气充入离子源放电室并使其电离形成等离子体
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磁控溅射-LAB18
主要用于溅射Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、TiW、Pd、Pt、Zn等金属薄膜
