技术指标:    

测量方法： 非接触式 

测量原理：反射计 

类型：手动的 

平台尺寸： 4" （可选6" ） 

活动范围：150 x 120mm(70 x 50mm 移动距离) 

测量范围 ：20nm-5um(根据膜的类型) 

目镜倍率：20x 典型值 （可选10x、50x） 

测量速度：1~2 sec./site 

照明类型：12V 35W Tungsten-Halogen Lamp Built-in Control Device & Transformer 

尺寸：190 x 265 x 316 mm 

重量：12Kg 

探头类型：三目探头 

可供选择：标准样品(K-MAC or KRISS or NIST)

应用领域:    

半导体：Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS Si, Ge, SiGe... 介质材料：SiO2, TiO2, TaO5, ITO, ZrO2, Si3N4, Photoresist, ARC,... 平板行业：(包括 LCD, PDP, OLED, ): a-Si, n -a-Si, Gate-SiNx MgO, AlQ3 , ITO, PR, CuPc, NPB, PVK, PAF, PEDT-PSS, Oxide, Polyimide... 光学涂层：硬度涂层、增反射薄膜、Color Filters、封装与功能薄膜... 太阳能电池： Doping a-Si(i-type, n-type, p-type), TCO(ZnO, SnO, ITO..) 聚合物：PVA, PET, PP, Dye, Npp, MNA, TAC, PR... Recordable materials: Photosensitive drum, Video head, ...