国产紫外光刻机 编号:MJB3
表面粗糙度以及光刻胶类型来选择合适的工艺
技术指标:
光刻版要求：目前只满足2.5寸、3寸
样品大小： 1、≤2寸 2、晶圆厚度＜3mm。
分辨率：>2μm。
对准精度：5μm。
备注： 以上参数需根据具体样品规格、平整度、表面粗糙度以及光刻胶类型来选择合适的工艺。
预约该设备前先跟设备负责人沟通！！！
应用领域: 365nm宽带光源，接触式光刻。主要用于线条>2μm的2英寸样品或<2inch样品光刻。
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