电学指标探针测试仪
利用比尔朗伯定律，紫外可见分光光度计
技术指标:
高功率SMU
电压范围：±200V
电流范围：±1A
测量分辨率：10fA/2uV
中功率SMU
电压范围：±100V
电流范围：±100mA
测量分辨率：10fA/0.5uV
应用领域: 利用比尔朗伯定律，紫外可见分光光度计
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LED光电测试系统
用于测量LED光谱功率分布、空间光强分布、电性能测试分析
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离子束刻蚀机 IBE
把Ar气充入离子源放电室并使其电离形成等离子体
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磁控溅射-LAB18
主要用于溅射Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、TiW、Pd、Pt、Zn等金属薄膜
