分光光度计（紫外-可见光吸收光谱仪）
薄膜样品的吸收与透过率
技术指标:
型号：V-660
日本 Jasco公司
光源：钨灯，氘灯
波长范围：187~900nm
应用领域: 液体样品的浓度分析，粉末样品的吸收与反射性质，薄膜样品的吸收与透过率。
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LED光电测试系统
用于测量LED光谱功率分布、空间光强分布、电性能测试分析
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离子束刻蚀机 IBE
把Ar气充入离子源放电室并使其电离形成等离子体
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磁控溅射-LAB18
主要用于溅射Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、TiW、Pd、Pt、Zn等金属薄膜
