高温探针台
高温探针台
结构设计合理，经济实用；
探针操作灵敏，直线度高；
加热均匀，准确度高；
低噪声，直流电驱动
隔绝水循环保护chuck底座
可以在绝大多数探针台上加装
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LED光电测试系统
用于测量LED光谱功率分布、空间光强分布、电性能测试分析
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离子束刻蚀机 IBE
把Ar气充入离子源放电室并使其电离形成等离子体
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磁控溅射-LAB18
主要用于溅射Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、TiW、Pd、Pt、Zn等金属薄膜
