拥有25年商业历史的MEMS产业已经历了两次重大的颠覆性事件。第一次颠覆发生在大约1990年。当时，产量需求直线飙升，从工厂级别飞速发展至向汽车领域的大批量供货，但随之而来的却是2007年的全球消费崩塌。其中需要注意的是，第一次颠覆对于所有涉及企业具有普遍的积极性，而第二次浪潮则将一些传统的领导企业打入如今的小众地位。纵观如今的行业形势，可以说历史正在重演，MEMS智能手机市场的增长...

目前全球MEMS市场规模已经逼近180亿美元，随着MEMS在可穿戴设备、VR/AR等消费类产品中应用渗透率高速增长的影响，美国MEMS市场实现平稳增长;欧洲MEMS市场也在汽车工业的带动下保持活力;亚太MEMS市场在智能手机、平板电脑、可穿戴设备等电子产品产量大幅提高的带动下，规模进一步扩大。相比之下，中国MEMS产业尚处于起步阶段，与连续三年高增长的市场不相匹配。旺盛的市场需求与相...

随着汽车传感器的迅速发展和对MEMS技术研究的深入，基于MEMS技术的汽车传感器具有广阔的应用背景。本文就MEMS汽车传感器的研究应用现状、MEMS汽车传感器的分类、制作加工技术和工艺等进行了简述，并详细介绍了几种典型的MEMS汽车传感器，最后对MEMS汽车传感器今后的发展进行了探讨。

大疆，准确的说，中国，可能已经来到了无人机产业的巅峰，而且是在全世界范围内。在中国，我们能看到大疆正在用很快的速度推进自己的产品线，而在国外，无人机产业正在面临威胁：3DR和Parrot正在进行业务改组以避免和大疆正面冲突;GoPro新款无人机是否能解决问题还不能知晓;LILY则已经申请破产保护流程。

MEMS电容式加速度计具有功耗低、体积小、可靠性高等优势，类型主要有：体硅加速度计，表面多晶硅加速度计和CMOS MEMS加速度计等。其中 CMOS MEMS加速度计因具有其易于实现单片集成、易于降低加工成本和互连寄生参数等优势，成为最具市场前景的加速度计产品。但是CMOS MEMS加速度计存在电容灵敏度低、结构失调、性能参数漂移等问题，这使其检测系统设计成为巨大的挑战。

我国MEMS产业发展也面临着重大机遇，特别是移动互联网和物联网的快速发展，将对MEMS产业产生深远的影响，并将催生大量新的产品、新的应用，带动MEMS产品在日常生活及工业生产中的普及化。

MEMS惯性加速度计是微惯性测量组合的关键部件，在许多相关领域都有着广阔的发展和应用前景，在微系统领域中发挥着举足轻重的作用，因此，微惯性加速度计已成为大家研究和分析的热点，采用 SOI技术的MEMS惯性加速度计不但具有较好的硅机械特性，而且使 CMOS工艺与MEMS加工工艺能够兼容，为加速度计表头与CMOS单片的集成提供了可能，实现了惯性器件微型化、可集成化、易批量生产等优点。

近日，国家工业和信息化部下发意见函，中国工程院组织遴选的MEMS传感器产业化等16个项目，拟作为《中国制造2025》2017年重大标志性项目。其中，由清华大学与淄博高新区合作建设的MEMS传感器产业化项目位列其中，这是山东省唯一入选的项目。

本文着重介绍了基于微机电系统技术制造的带通滤波器，简述了它的结构及原理，分析其主要特征参数和设计方法。并设计了一款中心频率为30GHz，带宽为1GHz的平行耦合线带通滤波器。利用 ADS 进行了原始电路的仿真与优化，并最终使用Ansoft HFSS软件建立了滤波器的三维模型，此模型基于硅衬底，把传统的微电子技术与MEMS技术相结合，从而大大提高了滤波器的品质因数。

无人机在近两年来迅速成为热点，很多企业也开始研究开发无人机技术。民用无人机也受到很多消费者的青睐。虽然现在业内的大部分玩具级飞行器都从三轴升级到六轴MEMS，但其采用的基本上是价格敏感型型号。