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单晶硅生长技术现状
主讲人:授课专家
上传时间:2017/4/20 13:37:43
课程简介:硅材料的优点及用途决定了它是目前最重要、产量最大、发展最快、用途最广泛的一种半导体材料。


课程详细

       硅(Si)材料是信息技术、电子技术和光伏技术最重要的基础材料。从某种意义上讲, 硅是影响国家未来在高新技术和能源领域实力的战略资源。作为一种功能材料, 其性能应该是各向异性的, 因此半导体硅大都应该制备成硅单晶, 并加工成抛光片, 方可制造IC器件, 超过98%的电子元件都是使用硅单晶。


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第一章
半导体材料物理化学基础
第二章
单晶硅生长及硅片制备技术
第三章
硅片清洗技术